.美国先进制造工艺技术
.气体管道采用超洁净内抛光不锈钢管道
.接头和阀门的数量少，泄露点少，保证设备真空卫生
.工位头采用自主研发设计，Kr85用量小，腔体小，维护简单，安全稳定可靠。
.配置自动注汞器一台
.配置自动药丸机一台
.根据工艺要求，可以自动设置冲洗次数和冲洗真空度
.机器速度80pc /h