根据客户需求定制，工位数目40~80个
可真空点灯排气，可充气点灯排气切换
配置高真空扩散泵
所有排气管道采用内抛光不锈钢管道制做
工位头自行研发设计，水冷结构，保证泡壳外管受热的一致性。
烘箱采用不锈钢制造，保温效果好
配置西马特高真空挡板阀，保证气密性
工位头处极限真空10-3pa，主管道极限真空10-4pa
排气速度800~1500pc/8h
配置PLC和人机界面，排气工艺全自动一键完成，各工段排气工艺可以自行提前设置

排气速度800~1500pc/8h